● 单套机组较大气量可达40000m³/h;  极限真空25Pa；
● 模块化供应，快速投入运行；
● 工作液循环处理系统，延长工作液使用时间；
● 可选排DSS气液滴分离器，减小气体液滴夹带；
● 可选双端面机械密封+密封冲洗系统；
● 全机械密封罗茨真空泵，避免漏油影响工作液。